BOSCH

МЭМС датчики

О компании BOSCH SENSORTEC

www.bosch-sensortec.com

Bosch начал разработку МЭМС датчиков в 1994 году. Сегодня продукция, основанная на технологии МЭМС, нашла огромное количиство применений.

Инерциальные датчики.

При производстве Инерциальных датчиков Bosch, при поверхностной микрообработке применяют изотропное и глубинное реактивно-ионное травления, что позволяет более эфективно использовать мощности производства.

Датчики давления.

При изготовлении датчиков давления уже применяются как поверхностная так и объемная микрообработки.


Технологии, применяемые Bosch:

  • Глубинное реактивно-ионное травление
  • Изотропное травление
  • KOH травление
  • Совмещение слоев
  • Металлизация
  • Литография
  • Нанесение тонких пленок

Применение МЭМС датчиков:

  • Мобильные устройства
  • Домашние развлечения
  • Индикация
  • Медицина
  • Дополненная реальность
  • Бытовая техника
  • Промышленность и логистика

Продукция:

  • 3-х осевые датчики:акселерометр, гироскоп, геомагнитные датчики
  • 6-и осевые: электронный компасс, Инерциальная Измерительная Система(Inertial Measurement Unit)
  • 9-и осевые: датчик внешнего ориентирования
  • Барометрические датчики давления